产品详情
多弧离子镀膜设备 工具镀
技术参数:
▲夹具方式:采用公自转行星式齿轮结构,工件速度在1-15转/分钟可调。
▲控制气体方式:采用质量流量计控制,进气稳定,反映速度快。
▲靶:采用整体制造技术,严格缜密的磁场设计和磁场布局,溅射刻蚀均匀。
▲电源:配置有高频直流电源(20KW、40KW等规格)、直流脉冲电源(电压、占空比可调节),逆变电弧电源,并可根据实际的情况加装离子源等辅助设施。
▲抽气系统:采用国产品牌机械泵、罗茨泵、扩散泵,根据其真空室大小确定合理型号。也可以根据客户的需要配备分子泵或者进口泵等。
▲抽真空参数:从大气抽至5*10‾³Pa≤15min 极限真空度8*10‾4Pa 控制系统